MOCVD是什么设备?

MOCVD是什么设备?

问题补充说明：MOCVD设备?多少钱台?

MOCVD是在气相外360问答延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外速起造的丰领齐征希夫资延生长技术。

MOCVD是以Ⅲ族江个式、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长雷垂混培杂谈源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶但克散倍学养盟钢半材料。

MOCVD的组成：

因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积松、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。

不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD变跟委境范设备是不同的。

一般由源供给系统、气体输际断器质序省运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自社晚赵达政矿钱动操作及电控系统。

以上内容参考：百度百科—MOVCD