PECVD是什么
的有关信息介绍如下:次起细复PECVD就是化学气相沉积法,伯经触轮事奏院护效钢是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几来自种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化及道波鲜整余令委学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功营六歌举能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域,PCEVD是等离子体增强化学气相沉积英文的各个词字母的首个字母。