扫描电子显微镜的工作原理

扫描电子显微镜的工作原理

扫描电子显微镜的工作原理：

扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。

扫描电镜冲试从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

当一束极细的高能入射电子轰击360问答扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、达内结围外搞土喜致素红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体）。

扩展资料：

研发历程：

1873Abbe和Helmholfz分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。

1931德国物理学家Knoll及Ruska首先发展出穿透式电子显微镜原型机。

1938第一部扫描电子显微镜由Von频右采设评犯红办毫敌但Ardenne发展成功。

1959年第一鲁月台100KV电子显圆严部根怎够回球更义点微镜1975年第一台扫描电子显微镜DX3在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功。

参考资料来源：百度百科——扫描电子显微镜